Оригинальные исследования (ОРИС)

Название статьи: ПОВЫШЕНИЕ СТОЙКОСТИ К СТАТИЧЕСКОМУ ЭЛЕКТРИЧЕСТВУ АНАЛОГОВОГО КЛЮЧА СО СХЕМОЙ УПРАВЛЕНИЯ

Авторы: Андреев В. В., Гурин В. М., Двухшерстнов А. С., Крамар М. И., Филиппович М. Е.

Ключевые слова: микросхема, технологический процесс, карман, окисление, пробой, статическое электричество.

Страницы: 49-56

Аннотация:

В статье представлены результаты исследования по повышению стойкости к статическому электричеству аналогового ключа со схемой управления. С целью повышение стойкости к статическому электричеству были проведены изменения в технологическом процессе, включая использование пирогенного окисления вместо обычного термического окисления подзатворного диэлектрика и формирование кармана p-типа с меньшей дозой примеси бора в исходной структуре КСДИ (кремниевая структура с диэлектрической изоляцией) n-типа для n-канальных транзисторов. Были рассмотрены режимы изготовления и оценено влияние внесенных изменений в сравнении со стандартным технологическим процессом на конечную стойкость нашей микросхемы.

Полный текст статьи недоступен

Скачать полный текст статьи
  • ISSN: 2222-0402

Журнал индексируется в Российском индексе научного цитирования (РИНЦ)

Отправить статью в журнал "Оригинальные исследования (ОРИС)"

Журнал "Оригинальные исследования (ОРИС)" (включен в РИНЦ) ведет прием статей в ближайший номер до 25 ноября 2024 г. 

Полезная информация

Наша группа в "Контакте"

ДО ПУБЛИКАЦИИ ОДИН ШАГ

Оставьте заявку на бесплатную консультацию, и мы расскажем, как быстро опубликовать вашу статью

Нажимая кнопку "Получить консультацию" я даю свое согласие на передачу и обработку персональных данных, а также принимаю условия политики конфиденциальности.