Original Research Journal

Article title: ПОВЫШЕНИЕ СТОЙКОСТИ К СТАТИЧЕСКОМУ ЭЛЕКТРИЧЕСТВУ АНАЛОГОВОГО КЛЮЧА СО СХЕМОЙ УПРАВЛЕНИЯ

Authors: Андреев В. В., Гурин В. М., Двухшерстнов А. С., Крамар М. И., Филиппович М. Е.

Keywords: микросхема, технологический процесс, карман, окисление, пробой, статическое электричество.

Páginas: 49-56

Abstract:

В статье представлены результаты исследования по повышению стойкости к статическому электричеству аналогового ключа со схемой управления. С целью повышение стойкости к статическому электричеству были проведены изменения в технологическом процессе, включая использование пирогенного окисления вместо обычного термического окисления подзатворного диэлектрика и формирование кармана p-типа с меньшей дозой примеси бора в исходной структуре КСДИ (кремниевая структура с диэлектрической изоляцией) n-типа для n-канальных транзисторов. Были рассмотрены режимы изготовления и оценено влияние внесенных изменений в сравнении со стандартным технологическим процессом на конечную стойкость нашей микросхемы.

Full text is not available

Download full text
  • ISSN: 2222-0402

Полезная информация

Get a FREE mansucript checking

Our expert team reviews the manuscript and prepares a useful report regarding what can be improved. It's fast and it's FREE.

We are also professionals in language editing. Try us and learn more about what our services by clicking here