Original Research Journal

Article title: СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБОКИХ МИКРООТВЕРСТИЙ С ПОМОЩЬЮ ЗОНДОВ НА ОСНОВЕ ЭЛАСТИЧНОГО МЕХАНИЗМА

Authors: Дючкова М. А., Куренщиков А. В.

Keywords: отверстие, метрология, измерение, зонд, контактные методы, эластичный механизм.

Páginas: 280-286

Abstract:

В статье рассматриваются способы измерения геометрических характеристик глубоких микроотверстий. Отмечается насущная необходимость высокоточных измерений непосредственно в цеху предприятия, следствием чего является необходимость создания установок для измерения микрорельефа, обладающих высокой скоростью измерений и разрешением, низкой погрешностью и небольшими размерами и весом. Далее излагаются особенности контактных зондовых измерений и трудности при их реализации. Рассматривается устройство созданных зондовых измерительных установок на основе эластичного механизма. В заключении отмечается, что контактные зонды для измерения микроструктур выпускаются серийно, и могут быть использованы для измерения микроотверстий в промышленном производстве.

Full text is not available

Download full text
  • ISSN: 2222-0402

Полезная информация

Get a FREE mansucript checking

Our expert team reviews the manuscript and prepares a useful report regarding what can be improved. It's fast and it's FREE.

We are also professionals in language editing. Try us and learn more about what our services by clicking here