Название статьи:
СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБОКИХ МИКРООТВЕРСТИЙ С ПОМОЩЬЮ ЗОНДОВ НА ОСНОВЕ ЭЛАСТИЧНОГО МЕХАНИЗМА
Авторы:
Дючкова М. А., Куренщиков А. В.
Ключевые слова: отверстие, метрология, измерение, зонд, контактные методы, эластичный механизм.
Страницы: 280-286
Аннотация: В статье рассматриваются способы измерения геометрических характеристик глубоких микроотверстий. Отмечается насущная необходимость высокоточных измерений непосредственно в цеху предприятия, следствием чего является необходимость создания установок для измерения микрорельефа, обладающих высокой скоростью измерений и разрешением, низкой погрешностью и небольшими размерами и весом. Далее излагаются особенности контактных зондовых измерений и трудности при их реализации. Рассматривается устройство созданных зондовых измерительных установок на основе эластичного механизма. В заключении отмечается, что контактные зонды для измерения микроструктур выпускаются серийно, и могут быть использованы для измерения микроотверстий в промышленном производстве.
Полный текст статьи недоступен
Скачать полный текст статьи
Журнал индексируется в Российском индексе научного цитирования (РИНЦ)
Журнал "Оригинальные исследования (ОРИС)" (включен в РИНЦ) ведет прием статей в ближайший номер до 31 декабря 2024 г.
Архив выпусков
- 2024 - Том 14, Выпуск 12
- 2024 - Том 14, Выпуск 11
- 2024 - Том 14, Выпуск 10
- 2024 - Том 14, Выпуск 9
- 2024 - Том 14, Выпуск 8
- 2024 - Том 14, Выпуск 7
- 2024 - Том 14, Выпуск 6
- 2024 - Том 14, Выпуск 5
- 2024 - Том 14, Выпуск 4
- 2024 - Том 14, Выпуск 3
-
Весь архив