Article title:
СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБОКИХ МИКРООТВЕРСТИЙ НА ОСНОВЕ НИЗКОКОГЕРЕНТНОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ
Authors:
Дючкова М. А., Куренщиков А. В.
Keywords: отверстие, метрология, измерение, метод, излучение, лазер, низкокогерентная интерферометрия.
Páginas: 76-82
Abstract: В статье рассматриваются пути решения проблем, присущих измерениям характеристик глубоких микроотверстий. Отмечается актуальность таких измерений, связанная с тенденцией миниатюризации и широким внедрением аддитивных технологий, с характерными для них, сложными внутренними полостями. Приводятся виды микроотверстий и трудности при их измерении. Отмечается эффективность оптических методов измерения глубоких отверстий и, в частности, методов низкокогерентной интерферометрии. Рассматривается устройство реализованных измерительных установок. В заключении делается вывод о перспективности методов низкокогерентной интерферометрии для измерения микроотверстий.
Full text is not available
Download full text
