Оригинальные исследования (ОРИС)

Название статьи: СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБОКИХ МИКРООТВЕРСТИЙ НА ОСНОВЕ НИЗКОКОГЕРЕНТНОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ

Авторы: Дючкова М. А., Куренщиков А. В.

Ключевые слова: отверстие, метрология, измерение, метод, излучение, лазер, низкокогерентная интерферометрия.

Страницы: 76-82

Аннотация:

В статье рассматриваются пути решения проблем, присущих измерениям характеристик глубоких микроотверстий. Отмечается актуальность таких измерений, связанная с тенденцией миниатюризации и широким внедрением аддитивных технологий, с характерными для них, сложными внутренними полостями. Приводятся виды микроотверстий и трудности при их измерении. Отмечается эффективность оптических методов измерения глубоких отверстий и, в частности, методов низкокогерентной интерферометрии. Рассматривается устройство реализованных измерительных установок. В заключении делается вывод о перспективности методов низкокогерентной интерферометрии для измерения микроотверстий.

Полный текст статьи недоступен

Скачать полный текст статьи
  • ISSN: 2222-0402

Журнал индексируется в Российском индексе научного цитирования (РИНЦ)

Отправить статью в журнал "Оригинальные исследования (ОРИС)"

Журнал "Оригинальные исследования (ОРИС)" (включен в РИНЦ) ведет прием статей в ближайший номер до 31 декабря 2025 г. 

Полезная информация

Наша группа в "Контакте"

Мы тестируем новый сервис подбора журналов

Теперь найти подходящее вам издание будет намного проще и быстрее. Попробуйте его в Телеграме тут - ORESJournalBot и будем рады вашей обратной связи:)

Давайте попробуем