Article title:
ОСНОВНЫЕ КРИТЕРИИ ОСАЖДЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И ВЛИЯНИЕ ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИХ И КИНЕТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
Authors:
Дорохов А. А., Дорохов А. А.
Keywords: осаждение из газовой фазы, CVD, PVD, термодинамика, кинетика, энергия активации, температура подложки, динамическая вязкость, плотность газа, длина свободного пробега, число Кнудсена, диоксид циркония, ZrO₂, структура покрытий, фазовый состав.
Páginas: 198-205
Abstract: В статье систематизированы и проанализированы основные термодинамические и
кинетические критерии, определяющие процессы осаждения тонких плёнок и покрытий из
газовой фазы методами химического (CVD) и физического (PVD) осаждения.
Методологическую основу работы составили обобщение положений химической
термодинамики и кинетики, анализ литературных данных, термодинамического
моделирования и экспериментальных исследований. Особое внимание уделено
транспортным свойствам газовой фазы – динамической вязкости, плотности и средней
длине свободного пробега молекул. Показано, что термодинамические ограничения,
включая условие отрицательного изменения энергии Гиббса и расчёт фазовых равновесий,
задают принципиальную возможность синтеза целевой фазы, тогда как кинетические
параметры регулируют скорость процесса, лимитирующую стадию и механизм роста.
Число Кнудсена рассмотрено как критерий перехода от вязкостного к молекулярному
режиму течения, влияющему на конформность и плотность покрытий. На примере
диоксида циркония продемонстрирована связь между параметрами осаждения, фазовым
составом и эксплуатационными свойствами покрытий. Полученные результаты могут быть
использованы при проектировании технологических режимов получения
функциональных покрытий с заданной структурой и характеристиками.
Full text is not available
Download full text
